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증발재료

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증발재료

진공증착코팅은 증발이라 일컬어지며, 진공상태에서 일정한 가열 및 증발방식을 이용하여 코팅재료(또는 필름재료)를 증발, 기화시키는 공정을 말하며, 입자가 기판 표면으로 날아가서 응축되어 증발하는 과정을 말합니다. 필름을 형성합니다. 증발은 초기에 널리 사용되는 기상 증착 기술로, 간단한 성막 방법, 높은 막 순도 및 소형화, 독특한 막 구조 및 성능 등의 장점을 가지고 있습니다. 진공증착에 사용되는 재료를 증발재료라고 합니다.

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제품 특성

증발의 물리적 과정에는 다음이 포함됩니다.

증착 물질이 증발 또는 승화되어 기체 입자로 → 기체 입자가 증발원에서 기판 표면으로 빠르게 이동 → 기체 입자가 기판 표면에 부착되어 핵을 형성하고 고체막으로 성장 → 막 원자 재구성 또는 화학 결합이 발생합니다.

기판을 진공챔버에 넣고 저항, 전자빔, 레이저 등으로 필름재료를 가열하여 필름재료를 증발 또는 승화시킨 후 일정한 에너지를 갖는 입자(원자, 분자 또는 원자단)로 기화시킵니다. 0.1-0.3eV).

기체 입자는 충돌 없이 선형 운동으로 기판으로 빠르게 이송됩니다. 기판 표면에 도달한 입자의 일부는 반사되고, 다른 부분은 기판에 흡착되어 표면에서 확산됩니다. 퇴적된 원자 사이에 2차원 충돌이 일어나 클러스터를 형성합니다. 증발하기 전에 짧은 시간 동안 표면에 남아 있을 수 있습니다.

입자 클러스터는 확산하는 입자와 지속적으로 충돌하거나 단일 입자를 흡수하거나 단일 입자를 방출합니다.

이 과정이 반복됩니다. 응집된 입자의 수가 특정 임계값을 초과하면 안정된 핵이 된 후 계속해서 입자를 흡수하고 확산하여 점차 성장합니다. 마지막으로 인접한 안정한 핵의 접촉과 병합을 통해 연속적인 막이 형성됩니다.

3가지 증발 방식

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